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压电式移相器及其在全息干涉计量术中的应用

本文摘要:压电式移相器及其在全息干预计量法术中的应用于,让我们联合理解一下。1、压电式移相器移相器是后移互为干涉仪中十分最重要的部件,压电式移相器由于分辨率低、响应速度慢、易于控制、性能平稳,因此被普遍用于。但压电陶瓷也有它的缺点,即它的非线性误差以及较小的偏移量,这是影响它应用于范围不断扩大的原因。 针对这个问题,哈尔滨芯明天科技有限公司通过使用缩放特性的柔性铰链式结构,设计研制压电陶瓷(PZT)电压驱动电路来驱动光波执行机构以超过移相的目的。

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压电式移相器及其在全息干预计量法术中的应用于,让我们联合理解一下。1、压电式移相器移相器是后移互为干涉仪中十分最重要的部件,压电式移相器由于分辨率低、响应速度慢、易于控制、性能平稳,因此被普遍用于。但压电陶瓷也有它的缺点,即它的非线性误差以及较小的偏移量,这是影响它应用于范围不断扩大的原因。

针对这个问题,哈尔滨芯明天科技有限公司通过使用缩放特性的柔性铰链式结构,设计研制压电陶瓷(PZT)电压驱动电路来驱动光波执行机构以超过移相的目的。再行融合光学器件、下位机编程、以及在软件开发平台上撰写数据处理程序,研制了一套后移互为准确掌控测量装置。为了有效地解决问题PZT非线性、脆性特性、延缓特性对移互为精度的影响,该装置使用了电压-偏移构成的闭环反馈控制,构建自适应的微米级驱动定位掌控,大大提高了非线性,减少了外界影响、阻碍,对光波的测量精度起着了明显改善。

压电式移相器通过3两组压电陶瓷砌填驱动,可用作直径约106mm孔径镜片,偏移行程平均20um以上。实验已证明,该压电式移相器效果十分好,且控制精度可达亚纳米级,它可大大提高测量精确度,在振幅测量技术中具备普遍的实用价值,且已普遍用作各种现代干预仪器中。激光平面干涉仪2、压电式移相器在全息干预计量法术中的应用于在全息干预计量法术中,必须确认物体偏移及应力的大小及方向,在动态检测过程中还必须对物体偏移、应力的方向作出即时、很快的辨别。

而这种辨别的方法有很多,但有的较困难、有的计算出来简单、有的必须类似装置,还有的看起来十分不直观等等,这都给全息干预计量带给很多不便。而压电移相器才是能解决问题以上所有问题。


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